国产5纳米光刻设备是谁家

目前，国内仅有一个厂商宣称拥有5纳米光刻设备，并计划于2021年投入生产。该厂商是中国创新投资集团旗下公司——华大智造。据华大智造介绍，其5纳米光刻机是基于先进的EUV技术，可实现高精度、大量生产的芯片制造，具备全球领先的性能和技术优势。

这一举措是中国在芯片领域上加强自主研发的重要举措，为推动国内半导体制造业发展注入了新的动力。

这个是中兴电气集团有限公司的，都是能够让他有专门的数据确认，同时知道这个设备以后带来很好的防伪标识，给他带来很多的积极荣誉。

上海微电子

上海为微电子成立于2002年，是我国现在仅有的一家光刻机厂家，可以说上海微电子承载了我国在半导体行业所有的压力。

历时近20年的时间，上海微电子已经掌握了先进封装光刻机的技术点，可以说上海微电子现在投入的技术不亚于世界最大光刻机公司ASML的力度

目前，国产5纳米光刻设备主要由中微半导体公司生产。中微半导体是国内唯一能够生产7纳米和5纳米制程刻蚀设备的公司。其5纳米等离子刻蚀设备已通过台积电认证，将用于台积电全球首条5纳米制程生产线。

请注意，光刻机和刻蚀机虽然都是半导体生产中的重要设备，但它们的功能和用途并不相同。光刻机主要用于在硅片上制造微小的电路图案，而刻蚀机则用于在硅片上刻蚀出这些图案。因此，在提到具体的制程技术时，需要明确是指光刻机还是刻蚀机。

以上信息仅供参考，如有需要，建议您咨询专业技术人员。