碳晶板检测指标
张大姐
碳晶板的检测指标主要包括**物理尺寸、化学成分和物理性能**等方面。
以下是一些详细的检测标准和方法：
1. **物理尺寸**：
- 厚度：碳晶板的厚度是一个重要的质量判断标准，一般来说，厚度在3厘米以上为佳。
- 重量：重量也能反映碳晶板的密度和品质，通常越重的碳晶板密度越高，品质越好。
- 颜色：质量好的碳晶板颜色均匀，无明显色差。
2. **化学成分**：
- GB/T 3045标准：对碳化硅的表面杂质、二氧化硅、游离硅、游离碳、酸处理失量等成分进行测定。
3. **物理性能**：
- 硬度、密度、热膨胀系数、导热系数、电阻率等参数的测试。
4. **国家标准**：
- GB/T 4335-2013：低碳钢冷轧薄板铁素体晶粒度测定法。
- JB/T 10698-2007：碳化硅特种制品重结晶碳化硅板。
- GB/T 30656-2014：碳化硅单晶抛光片。
- GB/T 31351-2014：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测。
- GB/T 30867-2014：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试。
- GB/T 30866-2014：碳化硅单晶片直径测试。